铝膜厂家

铝膜是指用气相沉积、液相沉积、表面转化或其它表面技术制备的氮化铝覆盖层。氮化铝(AIN)是AI-N二元系中稳定的相，它具有共价键、六方纤锌矿结构，在常压下不能熔化，而是在2500K分解它的直接能带间隙高达6.2eV，铝膜厂家也可以通过掺杂成为宽带隙半导体材料。

铝在半导体工艺中被广泛应用，比如形成金属互连线、各种极板等等。从导电性能的角度来看，铝的导电性要比铜和金差一些，但如果用铜代替铝，铜与铝的接触电阻很高，并且如果铜进入器件区将引起器件性能的灾难，而铝则不具有前述问题，因而成为一种很好的选择。它有足够低的电阻率，有很好的过电流密度，对二氧化硅有很好的粘附性，能形成很高的纯度，天然具备与硅的低接触电阻，易于图形化工艺等等。

传统的铝膜湿法刻蚀是基于磷酸。铝膜厂家现有厚铝(厚度以上)刻蚀工艺中由于刻蚀时间长，使用光刻胶厚，导致铝金属侧壁的聚合物(剩余的光刻胶)很厚，后续即使使用多次湿法和干法刻蚀都不能有效把聚合物去除干净。