铝膜

现提供一种铝膜工艺方法，能完全去除聚合物，保护铝膜不会被腐蚀。

铝膜工艺方法适用于厚度不低于的铝膜，去除金属膜时去掉聚合物，再用湿法刻蚀加干法刻蚀将剩余聚合物完全去除。去除金属膜采用氧气流和水剥离的方法。进一步地，去除金属膜时温度控制在230～270℃。氧气流使用工艺参数为：压力2Torr,射频功率0W，氧气流量4000sccm，时间为20s；水剥离使用工艺参数为：压力2Torr，射频功率1400w，水蒸气流量500sccm，时间为60s。在金属膜剥离时去除聚合物，再用湿法刻蚀和干法刻蚀完全去除剩余的聚合物，能将聚合物去除干净，增加后续工艺腐蚀窗口。

具体实施方式

1.一种铝膜工艺方法，适用于厚度不低于的铝膜，其特征在于：去除金属膜时去掉聚合物，再用湿法刻蚀加干法刻蚀将剩余聚合物完全去除。

2.铝膜工艺方法，其特征在于：去除金属膜采用氧气流和水剥离的方法。

3.铝膜工艺方法，其特征在于：去除金属膜时温度控制在230～270℃。

4.铝膜工艺方法，其特征在于：氧气流使用工艺参数为:压力2Torr,射频功率0W。